序號

名     稱

主要技術指標

單位

數量

推 薦 廠 家

1

精密隔振光學平臺

4支撐，平面度不大于0.05mm/平米；表面粗糙度0.8-1.6微米；固有頻率8-10HZ；振幅不大于5微米

個

2

卓立漢光、大恒、江西連勝、上海理工大學附屬工廠

精密隔振光學平臺

4支撐，平面度不大于0.05mm/平米；表面粗糙度0.8-1.6微米；固有頻率8-10HZ；振幅不大于5微米

個

1

隔振光學平臺

（附帶輪的平臺支架）

4支撐，平面度不大于0.1mm/600mm;

平臺支架：中心高700mm，支架帶4個腳輪，移動方便。

個

1

2

精密電控平移臺

100mm行程精密增強型電控平移臺，水平方向使用，重復定位精度＜3um，回程間隙小于5um，運動直線度：＜10um/100mm;運動平行度：＜15um/100mm;

個

1

精密電控平移臺

200mm行程精密電控平移臺，水平使用重復定位精度＜3um，承載＞10KG

個

1

精密電控旋轉臺

傳動比：180：1；＜重復定位精度0.005°

個

1

電移臺控制箱

三維42步進電機驅動控制器（最大8細分）；與上述電位移及旋轉臺配合使用，可選脈沖速度：400pps~18K pps，RS232標準接口；8位LED顯示；帶配套控制軟件，方便二次開發，可自編程

個

1

3

精密平移臺

13mm精密平移臺，中央分厘卡驅動，可豎直使用，最小讀數0.01，靈敏度：0.001mm

個

2

可調光闌

光闌孔徑在 1.5mm至 22mm之間連續可調，可單獨使用

個

1

可調光闌座

與上述光闌配裝，可與接桿相連使用

個

1

4

針孔光闌座

與下面所選針孔光闌及精密空間濾波器配合使用

個

3

針孔光闌

5um、10um、100um各孔徑各一個，與所選針孔光闌座配合使用

個

3

精密空間濾波器

可與所選針孔光闌座及光闌配套使用，物鏡調節范圍13mm，分厘卡驅動，針孔調節范圍：兩維不小于±1.5mm；調整精度：0.005mm，配帶標準接口10X，40X顯微物鏡各1個

個

1