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西安工業大學光電超凈實驗室設計招標公告
來源: 發布時間:2012-08-03 點擊:

一、   項目內容

西安工業大學光電超凈實驗室(包含:器件超凈實驗室和薄膜超凈實驗室)凈化工程及設備一、二次配管工程的設計。

二、    項目施工地點

工科組團光電附屬樓(1A)一層整層和光電樓(1B)一層東頭。

三、    項目施工環境

工科組團光電附屬樓(1A)一層建筑面積約800平米,凈化面積600平米,其空調機組及其室外機組、純水站、空壓站、真空站、冷卻水機組等動力間(約100平米,需搭建)放置在該樓北側。

工科組團光電樓(1B)一層東頭部分建筑面積約300平米,凈化面積250平米,其空調機組等動力間(已有房間)置于樓內。

四、    投標人資質要求

1、投標人必須具有中華人民共和國工商行政管理部門頒發的企業法人營業執照,要求具有工程設計綜合甲級資質或者電子相關行業乙級及以上設計資質,要求具有微電子、半導體等行業潔凈廠房的設計經驗。

2、擬派項目經理須具有國家一級注冊建筑師執業資格,或具有高級技術職稱、規模相當的同類項目設計經歷和業績;

3、參加設計的專業負責人(建筑、工藝、電氣、給排水、暖通、動力、概算等)必須具有類似微電子、半導體潔凈廠房設計經驗。

 

五、項目參數要求

光電附屬樓(1A)一層要求設計整體千級、局部百級的恒溫恒濕超凈實驗室,溫度要求20±2,濕度要求50%±10RH。在全負荷運轉條件下,工作區域噪聲應低于60dB。光電樓(1B)一層東頭要求設計為整體萬級潔凈環境。

六、項目具體要求

    1、光電附屬樓一層建議采用恒溫恒濕空調機組,機組應配有混合段、初效段、表冷段、加熱段、加濕段、風機段、中效段、送風段,并根據環境和實驗室設備情況計算空調的風量、冷量、電加熱功率、加濕量等參數。

2、通風系統應采用至少四級過濾裝置,建議分別在機組新風口、空調機混風口、空調機送風口、高效終端。

3、超凈室內頂部建議采用龍骨、FFUFan Filter Unit)、同尺寸盲板組合的結構,要求可對FFU進行小范圍調整,以保證設備及工作區域位于FFU的下方。

4、超凈室墻壁的設計要求采用凈化專用50mm厚巖棉夾心彩鋼板,要求采用手工彩鋼板加中字鋁的固定方式。

5、器件超凈實驗室要求采用孔板高架地板、標準垂直層流的方式。大型設備可做混凝土底座,其上表面與架空地板等高,并且底座表面用環氧樹脂等無塵材料進行凈化處理。

6、冷卻水、真空、壓縮空氣、純水主管道的設計要求距大多數設備是最近的,并預留一定數量的三通接口,增加設備時方便從三通處進行分支。

7、為節省頂部空氣靜壓箱的空間,主送、回風管道可以走潔凈區域以外的灰區和參觀走廊頂部。

8、設計中FFU的規格建議采用1200×600mm),非實驗時段可將相鄰的兩臺FFU關掉一臺,使超凈實驗室處于“待機”狀態,以節能減耗。

9、器件超凈室需在潔凈室北面空地(光電附樓1A樓北側)上的冷水機房南側設計面積約100平米的動力間,包含恒溫恒濕空調機組、空壓站、真空站、純水站、冷卻水站。要求動力間頂部承重,放置空調的室外機組。

10、該實驗室中的2PECVD和1臺MOCVD工藝氣體包含易燃易爆劇毒氣體,其特氣柜、尾氣處理區域應單獨隔出,設計成負壓,并設計有氣體泄露報警系統。

11、附件提供設備清單及土建圖紙,其它未盡事宜可當面咨詢。

七、時間要求

發標時間:201283日下午14:00起。

投標截止時間:2012813日中午12:00止。

開標時間:2012814日中午12:00

設計周期:2012815日起2012920止。

八、聯系人:

技術咨詢聯系人:劉老師  電話: 13572876003

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